나노전자소자 연구실 통합 관리 시스템

연구실 월별 주요 일정 스케줄러

년 월

일

월

화

수

목

금

토

실시간 장비 예약 현황

데이터 검색

예약자	장비명	시작 시간	종료 시간	제어 상태 변경	관리 조치

장비 고장 관리

데이터 검색

접수 시간	완료 시간	장비명	고장 증상	처리 상태	조치

연구실 소모품 재고 현황

품목명

분류

현재 수량

물질 스펙 / 순도

재고 상태

거래처명

구매 일시

Item Number

Lot Number

비고

물품 사진 첨부 (선택 사항) 업로드 시 '[분류]_[품목명]'으로 파일 이름이 자동 지정됩니다.

데이터 검색

품목명	분류	현재수량	스펙	상태	거래처명	구매일시	Item Number	Lot Number	비고	사진	관리 조치

장비 정비 업체 연락처 및 매뉴얼 등록

데이터 검색

업체명	담당장비	연락처	매뉴얼 링크	이메일	비고	관리 조치

공정 변수 및 박막 분석 데이터 등록 기록 (캘린더 동기화)

데이터 시트 접속

공통 기본 정보

실험 날짜

시작 시간

공정 시간 (min)

연구원 이름

기판 전처리

샘플 ID

로테이션 (RPM)

Base 진공도 (Torr)

진행 장비 선택

기판 조건 및 증착 결과 분석

기판 종류

기판 온도 (°C)

증착 두께 (nm)

면저항 (Ω/sq)

비고 요약

결과 이미지 업로드

사진 폴더명 (변수명)

실험 결과 사진 (다중 선택 가능) 선택 사항입니다. 파일을 선택할 경우 폴더명을 필히 입력하세요.

데이터 검색

날짜/시간	연구원	장비명	샘플ID	로테이션(RPM)	기판종류	기판전처리	기판온도(°C)	증착물질	Base진공(Torr)	Work진공(Torr)	가스종류	Ar유량(sccm)	O2유량(sccm)	N2유량(sccm)	파워종류	파워(W)	Pre-sputter(min)	T-S거리(mm)	보트종류	전류(A)	증착속도(Å/s)	두께(nm)	면저항(Ω/sq)	비고 요약	이미지	조치

연구실 소모품 및 신규 자재 구입 신청

데이터 검색

신청날짜	신청자	물품명	규격/모델	수량	예상가격	링크/비고	결재 진행상태	관리 조치

연구실 보유 공정 장비 관리 인프라

보유 장비 명칭	분류	조치